产品特点及优势：

★精细线路加工专门机型，最小解析能力可达15/15μm，满足mSAP工艺需求

★搭配自主的超级算法的DMD控制系统，成就高解析度高效率加工

★曝光工序全数字化作业，跨入工业4.0智能制造

• 最大曝光尺寸

  大台面：24.5""×28.5”
  标准台面：22""×24.5"

• 板厚

  单机：0.05-5.0mm
  连线：0.075-2.5mm

• 对位精度

  ±10 µm

• 层间对位精度

  ±20 µm

• 光源

  405nm

• 景深

  ±300 µm

• 线宽精度

  ±10%

• 适配性

  适配于智能制造系统

• 外形尺寸（连线，含收放板）

  8542mm X 3200mm X 2200mm（L X W X H）

• 外形尺寸（单机）

  3010 X 1898 X 2200（L X W X H）

• 承重需求

  750KG/㎡

• 电力需求

  3*380AC+N+P，80A

• 耗电功率

  单机4KW/整机9KW

• 环境温湿度

  22±1℃/55±5%

• 环境洁净度

  Class 10000